Crystallization of Silicon Thin Films By Microwave-Induced Rapid Heating
Crystallization of Silicon Thin Films By Microwave-Induced Rapid Heating
复制标题
微波诱导快速加热硅薄膜的结晶
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and T. Sameshima
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Kimura;K. Ota;M. Hasumi;A. Suzuki;M. Ushijima;and T. Sameshima
