Static response and natural frequencies of microbeams actuated by out-of-plane electrostatic fringing-fields
Static response and natural frequencies of microbeams actuated by out-of-plane electrostatic fringing-fields
复制标题
面外静电边缘场驱动的微束的静态响应和固有频率
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H. Ouakad
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H. Ouakad
