シリコン単一層による多軸マイクロ熱アクチュエータ
シリコン単一層による多軸マイクロ熱アクチュエータ
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单硅层多轴微热执行器
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
永澤稔也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Uchihahsi;N. Kodera and T. Ando;大西航;永澤稔也
