MnドープITOエピタキシャル成長膜におけるMnドープ量が物性に与える影響の評価
MnドープITOエピタキシャル成長膜におけるMnドープ量が物性に与える影響の評価
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Mn掺杂量对Mn掺杂ITO外延生长薄膜物理性能的影响评价
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村敏浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
北川彩貴;中村敏浩
