On-line nanolithography using electron beam-induced deposition technique
On-line nanolithography using electron beam-induced deposition technique
复制标题
使用电子束诱导沉积技术的在线纳米光刻
DOI：
10.1016/s0167-9317(01)00476-2
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发表时间：
2001
影响因子：
2.3
通讯作者：
H. Koops
中科院分区：
文献类型：
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作者：
U. Hübner;R. Plontke;M. Blume;A. Reinhardt;H. Koops
