非共振型超音波アクチュエータ駆動精密ステージの位置決め制御における摩擦補償法
非共振型超音波アクチュエータ駆動精密ステージの位置決め制御における摩擦補償法
复制标题
非谐振超声执行机构驱动精密工作台定位控制的摩擦补偿方法
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
橋本 誠司
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
橋本 誠司
