Grazing-Incidence Soft-X-ray Scattering for the Chemical Structure Size Distribution Analysis in EUV Resist
Grazing-Incidence Soft-X-ray Scattering for the Chemical Structure Size Distribution Analysis in EUV Resist
复制标题
用于 EUV 光刻胶化学结构尺寸分布分析的掠入射软 X 射线散射
DOI：
10.2494/photopolymer.35.61
复制
发表时间：
2022
影响因子：
0.8
通讯作者：
Watanabe Takeo
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Nakamoto Atsunori;Yamakawa Shinji;Harada Tetsuo;Watanabe Takeo
