斜め堆積法を適用したプラズマ成膜プロセスのモンテカルロシミュレーション
斜め堆積法を適用したプラズマ成膜プロセスのモンテカルロシミュレーション
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倾斜沉积法等离子薄膜沉积过程的蒙特卡罗模拟
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
井上泰志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasushi Inoue;Osamu Takai;井上泰志
