H.Saitoh,T.Fujii,T.Ishiguro and Y.Ichinose: "BN films deposited by the rf plasma CVD thermally assisted with tungsten filament" Supplement to Trans.JIM. 29. 299-302 (1988)
H.Saitoh,T.Fujii,T.Ishiguro and Y.Ichinose: "BN films deposited by the rf plasma CVD thermally assisted with tungsten filament" Supplement to Trans.JIM. 29. 299-302 (1988)
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H.Saitoh、T.Fujii、T.Ishiguro 和 Y.Ichinose:“通过射频等离子体 CVD 热辅助钨丝沉积的 BN 薄膜”Trans.JIM 的补充。
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