アノードエッチングを用いた化合物半導体の微細加工
アノードエッチングを用いた化合物半導体の微細加工
复制标题
使用阳极蚀刻进行化合物半导体的微加工
DOI：
--
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
阿相英孝
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kazunari Yoshida;Shintaro Takamiya;藤井 達也，早川 邦夫，原田 崇史，成田 忍，久保田 義弘;阿相英孝
