スーパーマグネトロンプラズマCVDによるDLC膜の堆積-下電極RF電力依存性-
スーパーマグネトロンプラズマCVDによるDLC膜の堆積-下電極RF電力依存性-
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超磁控等离子体CVD沉积DLC薄膜-下电极RF功率依赖性-
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木下 治久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
櫻井 勝俊;木下 治久
