松浦孝,室田淳一,澤田康次,大見忠弘: "塩素吸着とArイオン照射を用いたSiのエッチング" 応用物理. 64. 159-160 (1995)
松浦孝,室田淳一,澤田康次,大見忠弘: "塩素吸着とArイオン照射を用いたSiのエッチング" 応用物理. 64. 159-160 (1995)
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Takashi Matsuura、Junichi Murota、Koji Sawada、Tadahiro Omi：“利用氯吸附和 Ar 离子照射进行硅蚀刻”应用物理 64. 159-160 (1995)。
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