フォトミック金属酸化膜作製のためのプラズマプロセス
フォトミック金属酸化膜作製のためのプラズマプロセス
复制标题
制备光敏金属氧化物薄膜的等离子体工艺
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内野喜一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
刀祢聖子;久保山真;川本貴裕;井上修平;内野喜一郎
