Voltage-current characteristics of the magnetized oxygen plasma for oxide film synthesis based on mass-selective momentum control
Voltage-current characteristics of the magnetized oxygen plasma for oxide film synthesis based on mass-selective momentum control
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基于质量选择动量控制的氧化膜合成磁化氧等离子体的电压-电流特性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Yamauchi&J. Oonuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Nakano. N. Y. Sato. T. Ikehata;S. Yamauchi&J. Oonuki
