Si上III/V族化合物半導体の選択MOVPEにおける初期核発生過程の観察と制御
Si上III/V族化合物半導体の選択MOVPEにおける初期核発生過程の観察と制御
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Si 上 III/V 族化合物半导体选择性 MOVPE 初始成核过程的观测与控制
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中野 義昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
出浦 桃子;杉山 正和;星井 拓也;中根 了昌;竹中 充;菅原 聡;高木 信一;中野 義昭
