大気圧マイクロプラズマジェットによるDLC成膜の局所合成
大気圧マイクロプラズマジェットによるDLC成膜の局所合成
复制标题
利用常压微等离子体射流局部合成 DLC 薄膜
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉木宏之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西村涼汰;吉木宏之
