Surface orientation dependence of SiC oxidation process studied by in-situ spectroscopic ellipsometry
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复制标题
原位光谱椭圆光度法研究 SiC 氧化过程的表面取向依赖性
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Yaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Goto;S. Yagi;Y. Hijikata;H. Yaguchi
