Planar aluminum interconnection formed by electrochemical anodizing technique
Planar aluminum interconnection formed by electrochemical anodizing technique
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采用电化学阳极氧化技术形成的平面铝互连
DOI：
10.1016/s0167-9317(97)00129-9
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发表时间：
1997
影响因子：
2.3
通讯作者：
A. Mozalev
中科院分区：
文献类型：
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作者：
V. Surganov;A. Mozalev
