M.B.Takeyama et al.: "High performance of thin nano-crystalline ZrN diffusion barriers in Cu/Si contact system"Applied Surface Science. 190/1-4. 441-445 (2002)
M.B.Takeyama et al.: "High performance of thin nano-crystalline ZrN diffusion barriers in Cu/Si contact system"Applied Surface Science. 190/1-4. 441-445 (2002)
复制标题
M.B.Takeyama 等人：“Cu/Si 接触系统中薄纳米晶 ZrN 扩散阻挡层的高性能”应用表面科学。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
