ラマン分光法による酸化膜/Si界面の熱伝導特性評価
ラマン分光法による酸化膜/Si界面の熱伝導特性評価
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拉曼光谱评价氧化膜/Si界面导热特性
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小椋厚志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
横川凌;富田基裕;渡邉孝信;小椋厚志
