M,Yamaguchi: "Modification Effect of a-SiNx:H Surface by Hydrogen Radical" Japanese Journal of Applied Physics. 2(掲載予定). (1995)
M,Yamaguchi: "Modification Effect of a-SiNx:H Surface by Hydrogen Radical" Japanese Journal of Applied Physics. 2(掲載予定). (1995)
复制标题
M, Yamaguchi：“氢自由基对 a-SiNx:H 表面的改性作用”，日本应用物理学杂志 2（待出版）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
