Micro-Solid Nitrogen Particulate Spray Cooling Characteristics and its Application to Wafer Cleaning Technology
Micro-Solid Nitrogen Particulate Spray Cooling Characteristics and its Application to Wafer Cleaning Technology
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微固氮颗粒喷雾冷却特性及其在晶圆清洗技术中的应用
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jun Ishimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ochiai;N.;Ishimoto;J.;Arioka;A.;Yamaguchi;N.;Sasaki;Y.;and Furukawa;N.;柳田佳輝，奥村圭介，藤川俊秀，白岩寛之，矢口久雄;Jun Ishimoto
