Yunlong Li: "Uniform RF Plasma source with Large Diameter" Proc.of the 7th Symp.on Plasma Science for Materials. SPSM-7. 49-52 (1994)

Yunlong Li: "Uniform RF Plasma source with Large Diameter" Proc.of the 7th Symp.on Plasma Science for Materials. SPSM-7. 49-52 (1994)
复制标题

李云龙:“大直径均匀射频等离子体源”第七届材料等离子体科学研讨会论文集。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献