溶液系大気圧ミストCVDによる硫化スズ(SnSx)薄膜の作製プロセスの開発
溶液系大気圧ミストCVDによる硫化スズ(SnSx)薄膜の作製プロセスの開発
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开发基于溶液的常压雾气 CVD 硫化锡 (SnSx) 薄膜的制造工艺
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
川原村敏幸
中科院分区:
文献类型:
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作者:
佐藤翔太;劉麗;G. T. Dang;川原村敏幸