Wavelength-dependence of near-field etching
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复制标题
近场蚀刻的波长依赖性
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Takashi Yatsui
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Felix Julian Brandenburg;Hiroshi Saito;Olivier Soppera;Takashi Yatsui