粉末靶制备的AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的光电性能
粉末靶制备的AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的光电性能
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DOI：
10.3788/fgxb20153612.1427
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吴法宇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
刘思宁;周艳文;吴川;吴法宇
室温下，采用射频磁控溅射AZO粉末靶和Ag靶在玻璃基底上制备Ag层厚度分别为12 nm和15 nm两组对称结构掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌（AZO/Ag/AZO）透明导电薄膜，研究了Ag层和AZO层厚度对薄膜光电性能的影响。结果表明：3层薄膜的可见光区平均透光率达到了80%，550 nm处的最高透过率达到了88%，方块电阻小于5 Ω/□。Ag层厚度是影响AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的主要因素，AZO层的厚度对薄膜光学性能影响较大。