J.Murota et al.: "CVD SiGe(C) Epitaxial Growth and Its Application to MOS Devices(Invited Paper)"The Sixth International Conference on Solid-State and Integrated-Circuit Technology. 525-530 (2001)
J.Murota et al.: "CVD SiGe(C) Epitaxial Growth and Its Application to MOS Devices(Invited Paper)"The Sixth International Conference on Solid-State and Integrated-Circuit Technology. 525-530 (2001)
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J.Murota等人：“CVD SiGe(C)外延生长及其在MOS器件中的应用（特邀论文）”第六届国际固态与集成电路技术会议。
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