プラズマ原子層堆積法を用いたX 線光学系のPt 膜付け加工
プラズマ原子層堆積法を用いたX 線光学系のPt 膜付け加工
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采用等离子体原子层沉积法将Pt薄膜附着到X射线光学系统上的工艺
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福島碧都ほか
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Nakaniwa;et al.,;福島碧都ほか
