Effect of dilution gases in methane on the deposition of diamond-like carbon in a microwave discharge
Effect of dilution gases in methane on the deposition of diamond-like carbon in a microwave discharge
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甲烷中的稀释气体对微波放电中类金刚石碳沉积的影响
DOI：
10.1016/0040-6090(85)90084-7
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发表时间：
1985
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Y. Kanzaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
O. Matsumoto;H. Toshima;Y. Kanzaki
