Y. Matsuda, K. Tasjhiro, and H. Fujiyama: "Development of Reactive Sputtering Method Assisted by Inductively Coupled Discharege for High-Rate Deposition of Magnesium Oxide"IEICE Technical Report. Vol.101,No.600. 127,EID2001-132,EID2001 (2002)
Y. Matsuda, K. Tasjhiro, and H. Fujiyama: "Development of Reactive Sputtering Method Assisted by Inductively Coupled Discharege for High-Rate Deposition of Magnesium Oxide"IEICE Technical Report. Vol.101,No.600. 127,EID2001-132,EID2001 (2002)
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Y. Matsuda、K. Tasjhiro 和 H. Fujiyama：“开发用于高速沉积氧化镁的感应耦合放电辅助反应溅射方法”IEICE 技术报告。
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