種々の環境下におけるSi単結晶のマイクロトライボロジー

種々の環境下におけるSi単結晶のマイクロトライボロジー
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不同环境下硅单晶的微观摩擦学

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
坂公恭
坂公恭
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
水流一平;高木誠;松室昭仁;岩田博之;坂公恭

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