電流加熱白金触媒プローブによるプラズマ中酸素原子密度の計測

電流加熱白金触媒プローブによるプラズマ中酸素原子密度の計測
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使用电流加热铂催化剂探针测量等离子体中的氧原子密度

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
電気学会計測研究会資料
影响因子:
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通讯作者:
小野 茂
小野 茂
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
S. Ono;S. Teii;小野 茂

文献摘要

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