Y. Yamamoto,: ""Selective Growth of W at Very Low Temperatures Using a WF_6-SiH_4 Gas System"," the 13th International Conference on Chemical Vapor Deposition. Vol. PV96-5. 814-820 (1996)
Y. Yamamoto,: ""Selective Growth of W at Very Low Temperatures Using a WF_6-SiH_4 Gas System"," the 13th International Conference on Chemical Vapor Deposition. Vol. PV96-5. 814-820 (1996)
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Y. Yamamoto，：“使用 WF_6-SiH_4 气体系统在极低温度下选择性生长 W”，第 13 届国际化学气相沉积会议。
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