A self-running standing wave type slider for the ultrasonically levitated linear stage
A self-running standing wave type slider for the ultrasonically levitated linear stage
复制标题
一种用于超声悬浮线性平台的自运行驻波型滑块
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Nakamura and S. Ueha
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Koyama;H. Takei;K. Nakamura and S. Ueha
