Characterization of MEMS materials : Micro-nano physics underlying MEMS
Characterization of MEMS materials : Micro-nano physics underlying MEMS
复制标题
MEMS 材料的表征：MEMS 基础的微纳米物理
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Ando
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Sato;M.Shikida;T.Ando
