K.Kamimura,他: "Preparation of Polycrystalline SiC Thin Films and Its Application to Resistive Sensors" Institute of Physics Conference Series. 142. 825-828 (1996)
K.Kamimura,他: "Preparation of Polycrystalline SiC Thin Films and Its Application to Resistive Sensors" Institute of Physics Conference Series. 142. 825-828 (1996)
复制标题
K. Kamimura 等人：“多晶 SiC 薄膜的制备及其在电阻传感器中的应用”物理研究所会议系列 142. 825-828 (1996)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
