原子層堆積法によるAl2O3とZnOの超格子構造を用いた発光薄膜の開発
原子層堆積法によるAl2O3とZnOの超格子構造を用いた発光薄膜の開発
复制标题
通过原子层沉积法开发利用Al2O3和ZnO超晶格结构的发光薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
川田善正
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
小林舜;居波渉;川田善正
