高密度プラズマを用いた窒化炭素合成に及ぼすマイクロ波 Duty 比の影響
高密度プラズマを用いた窒化炭素合成に及ぼすマイクロ波 Duty 比の影響
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微波占空比对高密度等离子体合成氮化碳的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
原田泰典
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大平将寛;田中一平;原田泰典
