Metal Particulates on Si Etching with N-Fluoropyridinium Salts
Metal Particulates on Si Etching with N-Fluoropyridinium Salts
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N-氟吡啶盐蚀刻硅中的金属颗粒
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Mizuho Morita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masaki Otani;Junichi Uchikoshi;Kentaro Tsukamoto;Takabumi Nagai;Kenji Adachi;Kentaro Kawai;Kenta Arima;and Mizuho Morita
