GEM膜碱刻工艺的初步研究
GEM膜碱刻工艺的初步研究
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DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
李笑梅等
中科院分区：
文献类型：
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作者：
周静;单超;李笑梅等
