内山, 諸貫, 高山: "異方性エッチングの複合加工によるシリコンの微細規則形状加工"2001年度精密工学会春季大会講演論文集. 216 (2001)
内山, 諸貫, 高山: "異方性エッチングの複合加工によるシリコンの微細規則形状加工"2001年度精密工学会春季大会講演論文集. 216 (2001)
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Uchiyama，Moronuki，Takayama：“通过各向异性蚀刻的组合加工进行硅精细规则形状加工”2001年精密工程学会春季会议论文集216（2001）。
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