高周波静電容量測定装置の電極の寸法と配置が測定範囲に及ぼす影響に関する研究
高周波静電容量測定装置の電極の寸法と配置が測定範囲に及ぼす影響に関する研究
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电极尺寸和排列方式对高频电容测量设备测量范围的影响研究
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山田和夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
坂本篤思;瀬古繁喜;山田和夫
