Defect Grown from aFine Particle as Its Nucleus on a Si Wafer
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复制标题
硅晶片上以细颗粒为核生长的缺陷
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Keigo Nakashima and Katsuomi Tanahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroshi Nagaike;Tsuyoshi Moriya;Manabu Shimada;Keigo Nakashima and Katsuomi Tanahashi
