Plasma manipulation of nano-blocks and its application to ULK film deposition
Plasma manipulation of nano-blocks and its application to ULK film deposition
复制标题
纳米块的等离子体操控及其在 ULK 薄膜沉积中的应用
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他3名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Shiratani;K.Koga;他3名
