T.Shimmura: "Effects of fluorocarbon gas species on electrical conductivity and chemical structure of deposited polymer in SiO_2 etching processes"J.Vac.Sci.Technol.B. 22. 533-538 (2004)
T.Shimmura: "Effects of fluorocarbon gas species on electrical conductivity and chemical structure of deposited polymer in SiO_2 etching processes"J.Vac.Sci.Technol.B. 22. 533-538 (2004)
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T.Shimmura：“碳氟化合物气体种类对 SiO_2 蚀刻过程中沉积聚合物的电导率和化学结构的影响”J.Vac.Sci.Technol.B。
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