Osamu Tsuda: "Mass and energy measurements of the species responsible for cBN growth in rf bias sputter conditions" Journal of Vacuum Science & Tecnology. A15(6). 2859-2863 (1997)
Osamu Tsuda: "Mass and energy measurements of the species responsible for cBN growth in rf bias sputter conditions" Journal of Vacuum Science & Tecnology. A15(6). 2859-2863 (1997)
复制标题
Osamu Tsuda：“射频偏压溅射条件下 cBN 生长物质的质量和能量测量”真空科学杂志
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
