Y.Yamamoto, et al: "Surface Reaction of Alternately Supplied WF_6 and SiH_4 Gases" Surf.Sci.(印刷中). (1998)
Y.Yamamoto, et al: "Surface Reaction of Alternately Supplied WF_6 and SiH_4 Gases" Surf.Sci.(印刷中). (1998)
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Y.Yamamoto 等人:“交替供应 WF_6 和 SiH_4 气体的表面反应”Surf.Sci.(出版中)。
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