SiCNを複合化した遷移金属窒化物膜の耐熱性
SiCNを複合化した遷移金属窒化物膜の耐熱性
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SiCN复合过渡金属氮化物薄膜的耐热性
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松田健二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤太一;土屋大樹;李 昇原;池野進;野瀬正照;松田健二
