Developing Prediction of Key Plasma Processing Parameter from Small Data of Experimental Results by Machine Learning Method
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通过机器学习方法从实验结果的小数据中预测关键等离子体处理参数
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Shiratani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Kamataki;R. Iwamoto;S. Okunaga;D. Yamashita;N. Itagaki;K. Koga;M. Shiratani
