Influence of deposition condition on the structure and properties of CrAIN Coatings prepared by reactive sputtering
Influence of deposition condition on the structure and properties of CrAIN Coatings prepared by reactive sputtering
复制标题
沉积条件对反应溅射CrAIN涂层结构和性能的影响
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et. al
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masateru;Nose;et. al
